| 发明名称 | 导电薄膜、其制备方法及应用 | ||
| 摘要 | 一种导电薄膜，包括层叠的TiO<sub>2-x</sub>F<sub>x</sub>层及MO<sub>3</sub>层，其中，x为0.1～0.6，MO<sub>3</sub>为氧化钨、氧化钼和氧化铼中的至少一种。上述导电薄膜通过在TiO<sub>2-x</sub>F<sub>x</sub>层的表面沉积高功函的MO<sub>3</sub>层制备双层导电薄膜，既能保持TiO<sub>2-x</sub>F<sub>x</sub>层的良好的导电性能，又使导电薄膜的功函数得到了显著的提高。本发明还提供一种导电薄膜的制备方法及应用。 | ||
| 申请公布号 | CN104060223A | 申请公布日期 | 2014.09.24 |
| 申请号 | CN201310092616.1 | 申请日期 | 2013.03.21 |
| 申请人 | 海洋王照明科技股份有限公司;深圳市海洋王照明技术有限公司;深圳市海洋王照明工程有限公司 | 发明人 | 周明杰;王平;陈吉星;张振华 |
| 分类号 | C23C14/08(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I;H05B33/10(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/08(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州三环专利代理有限公司 44202 | 代理人 | 郝传鑫;熊永强 |
| 主权项 | 一种导电薄膜，其特征在于，包括层叠的TiO<sub>2‑x</sub>F<sub>x</sub>层及MO<sub>3</sub>层，其中，x为0.1～0.6，MO<sub>3</sub>为氧化钨、氧化钼和氧化铼中的至少一种。 | ||
| 地址 | 518000 广东省深圳市南山区南海大道海王大厦A座22层 | ||