用于排空腔室并净化从所述腔室抽取的气体的装置和方法

摘要

本发明涉及一种用于排空腔室(14)并用于对从所述腔室(14)抽取的气体清除任何外来物质的装置。所述装置包括干压缩真空泵(15)，该干压缩真空泵(15)具有被连接至待被排空的所述腔室(14)的入口(17)，并且适合与出口(18)处的可变条件无关地使所述入口压力维持在恒定水平。另外设置有中间管线(19)和液环真空泵(20)，中间管线(19)连接至干压缩真空泵(15)的出口(18)，液环真空泵(20)的入口被连接至中间管线(19)。本发明还涉及相应的方法。本发明使得能够可靠且有效地气体清除任何外来物质。

主权项

一种用于排空腔室(14)并用于对从所述腔室(14)抽取的气体清除所夹带的外来物质的装置，所述装置具有以下部件：a.干压缩真空泵(15)，所述干压缩真空泵(15)的入口(17)连接至待被排空的所述腔室(14)，并且所述干压缩真空泵(15)适合与出口(18)处的可变条件无关地使入口压力保持恒定；b.中间管线(19)，所述中间管线(19)连接至所述干压缩真空泵(15)的出口(18)；c.液环真空泵(20)，所述液环真空泵(20)的入口连接至所述中间管线(19)。