一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统

摘要

本发明涉及一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统。本发明中大数值孔径的折反射浸没投影光学系统由多个透镜和四个反射镜组成。从物面到像面依次可分为四个镜组。其中，第一透镜组具有正光焦度，且相对于其他镜组沿径向有一定距离偏移，有利于压缩后续光路，从而减小后续光路中透镜和反射镜的口径。本发明中的投影光学系统数值孔径大、像差小。相对于其他投影物镜，其最大优势在于达到较大数据孔径的同时，系统中透镜和反射镜的口径较小，从而降低对光学材料的尺寸要求，减小制造成本，降低镜片的加工、检测难度。

主权项

一种大数值孔径的折反射浸没投影光学系统，用于将位于物平面的图案投影到像平面上，所述大数值孔径的折反射浸没投影光学系统包括第一透镜组(G1)、第二反射透射镜组(G2)、第三透镜组(G3)、第四透镜组(G4)，其特征在于：从光束入射方向的第一透镜组(G1)具有正光焦度，第二反射透射镜组(G2)具有负光焦度，第三透镜组(G3)具有正光焦度，第四透镜组(G4)具有正光焦度，所述大数值孔径的折反射浸没投影光学系统包含了二十四片透镜和四片反射镜，且包含多个非球面。