过氟化物处理装置以及过氟化物处理方法

摘要

本发明提供能够从分解气体更切实地除去酸成分，并且能够减少用于干式除去酸成分的药剂的消耗量的过氟化物处理装置等。一种过氟化物处理装置（2），其特征在于，具备：对装置入口排气以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物而生成含有HF的分解气体的加热单元（第1加热器（221）、第2加热器（222））；配置在加热单元的前段和后段，在装置入口排气以及水与分解气体之间进行热交换的热交换器（231）；利用药剂从分解气体干式除去HF的酸成分除去装置（232）；检测从酸成分除去装置（232）流出的排气中所含的HF的浓度的HF浓度传感器（236）；和执行向酸成分除去装置（232）进行药剂的排出以及供给的控制的控制装置（24）。

主权项

一种过氟化物处理装置，其特征在于，具备：加热单元，其对含有过氟化物的气体以及水进行加热，并且利用预先确定的催化剂水解过氟化物，生成含有酸性气体的分解气体；热交换单元，其被配置在所述加热单元的前段以及后段，在流入该加热单元之前的含有过氟化物的气体以及水与从该加热单元流出后的分解气体之间进行热交换；酸成分除去单元，其利用药剂从自所述热交换单元流出后的分解气体干式除去酸成分；浓度检测单元，其检测从所述酸成分除去单元流出的排气中所含的酸性气体的浓度；和控制单元，其在通过所述浓度检测单元检测到的酸性气体的浓度达到了预先确定的值以上时进行下述控制：使预先确定的量的药剂从所述酸成分除去单元的内部排出，并且向该酸成分除去单元的内部新供给预先确定的量的药剂。