功能区为网格状的半导体气体传感器

摘要

本发明揭示了一种功能区为网格状的半导体气体传感器，包括基底；设置在基底上的信号感测电极，信号感测电极包括彼此分离的第一导电电极、第二导电电极以及电性连接第一导电电极和第二导电电极的功能层，基底上位于第一导电电极和第二导电电极之间的至少部分区域设置有蜂窝结构，蜂窝结构上设置有功能层；设置在基底上的加热电极，加热电极与信号感测电极彼此绝缘。通过在基底上设置功能层的区域布设蜂窝结构，利用蜂窝结构的结构特性，使得单位面积的基底上可以附着更多的气敏材料，且保证了待检测气体与气敏材料的充分接触，提升了传感器的使用寿命。

主权项

一种功能区为网格状的半导体气体传感器，其特征在于，包括：基底；设置在所述基底上的信号感测电极，所述信号感测电极包括彼此分离的第一导电电极、第二导电电极以及电性连接所述第一导电电极和第二导电电极的功能层，所述基底上位于所述第一导电电极和第二导电电极之间的至少部分区域设置有蜂窝结构，所述蜂窝结构上设置有所述功能层；设置在所述基底上的加热电极，所述加热电极与所述信号感测电极彼此绝缘。