主权项 |
一种化学放大负性抗蚀剂组合物,包括(A)可溶于含水碱性显影剂的基础聚合物,(B)通过高能辐射曝光能够产生磺酸的酸产生剂,和(D)交联剂,所述作为组分(A)的基础聚合物在有交联剂存在下,在酸催化剂作用下变为碱不溶性,其中所述基础聚合物包括至少一种聚合物,所述聚合物包含具有通式(1)氟化羧酸鎓盐的重复单元,并具有1,000至50,000的重均分子量,<img file="FSB0000127306370000011.GIF" wi="537" he="378" />其中R<sup>1</sup>是衍生自能够提供可聚合单体聚合活性的基础骨架的结构,其由以下通式任何一种表示:<img file="FSB0000127306370000012.GIF" wi="665" he="399" />其中结构中从氧原子延伸的价键表示与W<sup>1</sup>的键,R<sup>2</sup>是氟或氟烷基,W<sup>1</sup>是二价有机基,和Q<sup>+</sup>是通式(a)或(b)的硫鎓阳离子:<img file="FSB0000127306370000013.GIF" wi="632" he="353" />其中R<sup>3</sup>,R<sup>4</sup>和R<sup>5</sup>各自独立是取代或未取代、直链或支化C<sub>1</sub>‑C<sub>10</sub>烷基、烯基或氧代烷基,或取代或未取代的C<sub>6</sub>‑C<sub>18</sub>芳基、芳烷基或芳基氧代烷基,或R<sup>3</sup>,R<sup>4</sup>和R<sup>5</sup>中的至少两个可以与硫原子一起键合成环,<img file="FSB0000127306370000021.GIF" wi="935" he="350" />其中R<sup>6</sup>是取代或未取代、直链、支化或环状的C<sub>1</sub>‑C<sub>20</sub>烷基或烯基,或取代或未取代的C<sub>6</sub>‑C<sub>14</sub>芳基,m是1至5的整数,n是0或1,R<sup>6</sup>可具有在其上取代的羰基、羟基、酯结构、内酯结构、氨基、酰胺基或醚键氧原子。 |