发明名称 |
蒸发镀膜均匀性挡板 |
摘要 |
本发明涉及的一种蒸发镀膜均匀性挡板,其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体,所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边,在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口,即所述外凸圆弧形边呈锯齿状。本发明通过将外凸圆弧形边的边缘带钜齿状,调整各片产品中心点波长的一致,更好的控制每片产品的周边的各点的波长,本发明调整产品的各点波长的一致性,提高生产良率。 |
申请公布号 |
CN102605328B |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201210066103.9 |
申请日期 |
2012.03.14 |
申请人 |
赫得纳米科技(昆山)有限公司 |
发明人 |
张全文 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
南京纵横知识产权代理有限公司 32224 |
代理人 |
董建林 |
主权项 |
蒸发镀膜均匀性挡板,其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体,其特征在于,所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边,在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口,即所述外凸圆弧形边呈锯齿状,所述钜齿口呈半圆形,均匀的设置在外凸圆弧形边上。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇都市路21号 |