发明名称 蒸发镀膜均匀性挡板
摘要 本发明涉及的一种蒸发镀膜均匀性挡板,其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体,所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边,在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口,即所述外凸圆弧形边呈锯齿状。本发明通过将外凸圆弧形边的边缘带钜齿状,调整各片产品中心点波长的一致,更好的控制每片产品的周边的各点的波长,本发明调整产品的各点波长的一致性,提高生产良率。
申请公布号 CN102605328B 申请公布日期 2014.09.24
申请号 CN201210066103.9 申请日期 2012.03.14
申请人 赫得纳米科技(昆山)有限公司 发明人 张全文
分类号 C23C14/24(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 代理人 董建林
主权项  蒸发镀膜均匀性挡板,其包括中心杆和设置在中心杆上的档板本体,其特征在于,所述档板本体上与中心杆对称的两侧边为外凸圆弧形边,在所述外凸圆弧形边上设置有复数个钜齿口,即所述外凸圆弧形边呈锯齿状,所述钜齿口呈半圆形,均匀的设置在外凸圆弧形边上。
地址 215300 江苏省苏州市昆山市玉山镇都市路21号