一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法

摘要

本发明公开了一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，属于化学功能材料领域。该制备方法以三异丙醇氧钒为溶质制备前驱液，将所得前驱液涂于蓝宝石衬底制备前驱物薄膜，最后将前驱物薄膜置于真空环境中烧制而成。本发明在液相法的基础上，通过控制真空烧结条件制备二氧化钒薄膜，所获得的薄膜均具有良好的生长取向，相变温度为60℃左右，相变前后电阻率的变化在三个量级以上；且制备工艺简单，适合大范围推广。

主权项

一种高取向二氧化钒薄膜的液相制备方法，其制备方法是先用钒的醇盐制备前驱液，然后将前驱液涂于衬底表面制备前驱物薄膜，最后将前驱物薄膜置于真空条件下烧制而成；具体如下：（1）以三异丙醇氧钒为溶质，异丙醇为溶剂配制前驱液；（2）把所得前驱液涂于蓝宝石衬底，制得前驱物薄膜；（3）把所得前驱物薄膜置于真空炉中烧结，保温0.5~20小时，即得到二氧化钒薄膜，其中，烧结温度控制在400℃~600℃，烧结环境真空度控制在3 Pa~15 Pa。