| 发明名称 | 自动机械调度方法、装置及ELA机台制备控制系统 | ||
| 摘要 | 本发明公开了一种自动机械调度方法、装置及ELA机台制备控制系统，该自动机械调度方法其包括步骤：步骤S1：控制该自动机械进行当前取放动作；步骤S2：对该自动机械的下一取放动作进行预判；预判各机台的下一取放作业的触发时间，以选取该自动机械的下一取放动作，在该自动机械的当前取放动作完成后，向该自动机械发出关于该下一取放动作的指令，控制该自动机械行进到该下一取放动作对应的机台的取放端口进行等待；步骤S3：控制该自动机械进行该下一取放动作。本发明提高了主机台的利用率。 | ||
| 申请公布号 | CN104064489A | 申请公布日期 | 2014.09.24 |
| 申请号 | CN201310095781.2 | 申请日期 | 2013.03.22 |
| 申请人 | 上海和辉光电有限公司 | 发明人 | 胡堂林;唐山河;周虹任 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I;H01L21/677(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 隆天国际知识产权代理有限公司 72003 | 代理人 | 赵根喜;吕俊清 |
| 主权项 | 一种自动机械调度方法，其特征在于，所述自动机械调度方法包括步骤：步骤S1：控制该自动机械进行当前取放动作；步骤S2：对该自动机械的下一取放动作进行预判：预判各机台的下一取放作业的触发时间，以选取该自动机械的下一取放动作，在该自动机械的当前取放动作完成后，向该自动机械发出关于该下一取放动作的指令，控制该自动机械行进到该下一取放动作对应的机台的取放端口进行等待；步骤S3：控制该自动机械进行该下一取放动作。 | ||
| 地址 | 201500 上海市金山区金山工业区大道100号1幢二楼208室 | ||