用于电池应用的多孔非晶硅-碳纳米管复合式电极

摘要

本发明的实施例大致关于形成能量储存装置的方法与设备。更明确地，本文所述实施例关于形成电池与电化学电容器的方法。一实施例中，提供用于能量储存装置中的高表面积电极的形成方法。该方法包括在具有导电表面的集电器上形成非晶硅层、将非晶硅层浸入电解液以在非晶硅层中形成一连串的互连孔、并在非晶硅层的一连串的互连孔中形成碳纳米管。

主权项

一种用于在基板上形成能量储存装置的设备，所述基板包括至少一个导电材料的连续卷带，所述设备包括：第一端；第二端；支撑系统，用以支撑自所述第一端延伸至所述第二端的所述至少一个导电材料的连续卷带；第一腔室，配置于所述第一端与所述第二端之间，所述第一腔室用以沉积非晶硅层于所述至少一个导电材料的连续卷带上，其中所述第一腔室包括：热灯丝，适用于在高于1,500℃的表面温度下被加热；喷头，适于输送含硅气体以利用热丝化学气相沉积(HWCVD)过程而形成所述非晶硅层于所述至少一个导电材料的连续卷带上；及含硅气体源，所述含硅气体源与所述喷头耦接以输送所述含硅气体至所述喷头；及第二腔室，配置于所述第一端与所述第二端之间，所述第二腔室用以暴露所述非晶硅层至阳极化处理过程，其中所述第二腔室包括：处理容积，适用于容纳电解液；阳极组件，配置于所述电解液中，其中所述阳极组件是可移动的以接触所述基板并加阳极偏压于所述基板；阴极组件，配置于所述电解液中；一个或多个进入喷嘴，配置成分配所述电解液进入所述处理容积；及电源，适用于输送功率至所述阳极组件与所述阴极组件，以致阳极化处理所述非晶硅层以形成互连多孔非晶硅层。