发明名称 |
一种光纤表面金属化方法 |
摘要 |
本发明提供一种光纤表面金属化方法,包括如下步骤:(1)通过磁控溅射在所述光纤表面上形成粘接层;(2)通过磁控溅射在所述粘接层表面上形成导电层;以及(3)通过电镀在所述导电层表面上形成保护层。本发明的光纤表面金属化方法,采用磁控溅射在光纤表面依次形成粘接层和导电层,所得膜层密度高、针孔少、纯度高,膜厚可控性和重复性好,膜层与光纤之间的附着性好,并且磁控溅射在无水环境中进行,也无化学镀的粗化、敏化等过程,因此对光纤损伤小;磁控溅射后采用电镀增厚形成保护层,在高温条件下也能对光纤进行有效保护,提高了光纤的机械可靠性和使用寿命。 |
申请公布号 |
CN102758203B |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201210264918.8 |
申请日期 |
2012.07.27 |
申请人 |
华东理工大学 |
发明人 |
徒芸;涂善东;韩鹏;齐一华;张显程;轩福贞 |
分类号 |
C23C28/02(2006.01)I;C23C14/14(2006.01)I;C23C14/35(2006.01)I;C25D3/12(2006.01)I |
主分类号 |
C23C28/02(2006.01)I |
代理机构 |
上海智信专利代理有限公司 31002 |
代理人 |
邓琪 |
主权项 |
一种光纤表面金属化方法,其特征在于,包括如下步骤:(1)通过磁控溅射钛或铬在所述光纤表面上形成粘接层;(2)通过磁控溅射银、金或钼在所述粘接层表面上形成导电层;以及(3)通过电镀在所述导电层表面上形成保护层。 |
地址 |
200237 上海市徐汇区梅陇路130号 |