垂直型LED结构及其制作方法

摘要

本发明提出了一种垂直型LED结构及其制作方法，使用布拉格反射镜结构替换现有技术中的金属反射镜层作为反射镜，布拉格反射镜结构设有开口，能够确保接触层和金属键合层相连接，布拉格反射镜结构能够提高反射镜的热稳定性并且避免金属扩散，从而能够改善垂直型LED的良品率。进一步的，采用两种材质多层堆叠而成的布拉格反射镜结构，其中一层为高折射率，能够提高反射效率，使形成的垂直型LED发光效果更佳。

主权项

一种垂直型LED制作方法，包括步骤：提供生长衬底，在所述生长衬底上依次形成有外延层和接触层；在所述接触层表面形成布拉格反射镜结构，所述布拉格反射镜结构设有开口暴露出部分所述接触层；在所述布拉格反射镜结构以及暴露出的接触层表面形成金属键合层；在所述金属键合层上形成键合衬底；剥离所述生长衬底；形成N型电极。