一种基于MIM结构的表面等离激元增强的光电探测器

摘要

本发明公开了一种基于MIM结构的表面等离激元增强的光电探测器，包括基底，其特征在于所述基底上由下而上依次设置下金属膜层、下电介质隔层、上金属膜层、上电介质隔层和金属光栅层，还包括上、下金属膜层电极导线，分别连接至上、下金属膜层上作为探测器的输出端口。因本设计中作为核心的金属光栅层会带来光栅层的局域陷光效应，以及上、下金属膜层光吸收的明显差异导致的电子流隧穿效应，故本发明的这种光电探测器同时具备体积小(纳米量级)、耗材少、结构相对简单、易于加工、光谱响应宽、探测角度大等特点。

主权项

一种基于MIM结构的表面等离激元增强的光电探测器，包括基底(11)，其特征在于所述基底(11)上由下而上依次设置下金属膜层(12)、下电介质隔层(13)、上金属膜层(14)、上电介质隔层(15)和金属光栅层(16)，还包括上、下金属膜层电极导线(102、101)，分别连接至上、下金属膜层(14、12)上作为探测器的输出端口。