真空镀膜机可拆卸PlASMA电极

摘要

本实用新型公开了一种真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，它涉及一种可拆卸式PLASMA电极。它包括第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷、可调节式电极轴、第一O型氟橡胶密封圈、O型保护套、第二O型氟橡胶密封圈，可调节式电极轴上设置有第一绝缘陶瓷、第二绝缘陶瓷，第一绝缘陶瓷外侧分别设置有第一O型氟橡胶密封圈和第二O型氟橡胶密封圈，第一O型氟橡胶密封圈与第一绝缘陶瓷配合，第二O型氟橡胶密封圈与O型保护套相配合，O型保护套右侧设置有第二绝缘陶瓷。本实用新型延长电极使用寿命。此结构因电极在后部不会污染，节约成本更好的绝缘效果。

主权项

真空镀膜机可拆卸PlASMA电极，其特征在于，包括第一绝缘陶瓷(1)、第二绝缘陶瓷(2)、可调节式电极轴(4)、第一O型氟橡胶密封圈(5)、O型保护套(6)、第二O型氟橡胶密封圈(7)，可调节式电极轴(4)上设置有第一绝缘陶瓷(1)、第二绝缘陶瓷(2)，第一绝缘陶瓷(1)外侧分别设置有第一O型氟橡胶密封圈(5)和第二O型氟橡胶密封圈(7)，第一O型氟橡胶密封圈(5)与第一绝缘陶瓷(1)配合，第二O型氟橡胶密封圈(7)与O型保护套(6)相配合，O型保护套(6)右侧设置有第二绝缘陶瓷(2)。