发明名称 |
一种超大型细晶钼平面靶的制备方法 |
摘要 |
一种超大型细晶钼平面靶的制备方法,采用纯度>99.95%的钼粉制得,其中,钼平面靶的长度>450㎜,宽度>320㎜,厚度>75㎜,制备方法是:取钼粉装入胶膜内,静压成型,后置于中频炉,氢气气氛下烧结成板坯后,置入模具中,锻打板坯模具,后置入回火炉,退火,形成细晶组织,精细加工、清洗、干燥后制得钼平面靶。本发明克服了烧结和锻打的工艺缺陷,工艺简单,易工业化生产控制,降低污染,成本低,质量提高,生产效率极大提高。 |
申请公布号 |
CN104057088A |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201410274868.0 |
申请日期 |
2014.06.19 |
申请人 |
洛阳科威钨钼有限公司 |
发明人 |
张灵杰;张二召 |
分类号 |
B22F3/16(2006.01)I;B22F3/17(2006.01)I;C23C14/34(2006.01)I |
主分类号 |
B22F3/16(2006.01)I |
代理机构 |
洛阳公信知识产权事务所(普通合伙) 41120 |
代理人 |
张燕 |
主权项 |
一种超大型细晶钼平面靶的制备方法,采用纯度>99.95%的钼粉制得,其中,钼平面靶的长度>450㎜,宽度>320㎜,厚度>75㎜,其特征在于:步骤一、取粒度2.8‑3.8μm的钼粉,装入事先制好的橡胶模套内,采160‑200MPa静压成型,后置于中频炉,在氢气的气氛下,保持温度1900‑2000℃烧结55‑65小时,烧成板坯后,备用;步骤二、从中频炉取出烧成的板坯,置入事先制好的模具中,控制板坯的温度1350‑1400℃,锻打板坯模具,锻打时控制板坯的变形量<50%,锻打成长度>450㎜,宽度>320㎜,厚度>75㎜的板状构件;步骤三、卸掉模具,取出锻打成型的板状构件,置入1000‑1200℃的回火炉中,保持1‑3小时,稳定细晶组织;步骤四、对板状构件进行机械加工,后经清洗,干燥,制得超大型细晶钼平面靶。 |
地址 |
471000 河南省洛阳市涧西科技工业园 |