电容式微机械换能器及其制造方法

摘要

本发明涉及一种制造电容式微机械换能器(100)，尤其制造CMUT的方法，所述方法包括：在衬底(1)上沉积第一电极层(10)；在所述第一电极层(10)上沉积第一介电膜(20)；在所述第一介电膜(20)上沉积牺牲层(30)，所述牺牲层(30)是可去除的，以形成所述换能器的腔(35)；在所述牺牲层(30)上沉积第二介电膜(40)；在所述第二介电膜(40)上沉积第二电极层(50)；以及将所沉积的层和膜(10、20、30、40、50)中的至少一个模式化，其中，所述的沉积步骤是通过原子层沉积执行的。本发明还涉及一种通过这样的方法制造的电容式微机械换能器(100)，尤其是CMUT。

主权项

一种制造电容式微机械换能器(100)，尤其是制造CMUT的方法，所述方法包括：‑在衬底(1)上沉积第一电极层(10)，‑在所述第一电极层(10)上沉积第一介电膜(20)，‑在所述第一介电膜(20)上沉积牺牲层(30)，所述牺牲层(30)是可去除的，以形成所述换能器的腔(35)，‑在所述牺牲层(30)上沉积第二介电膜(40)，‑在所述第二介电膜(40)上沉积第二电极层(50)，以及‑将所沉积的层和膜(10、20、30、40、50)中的至少一个模式化，其中，所述的沉积的步骤是通过原子层沉积执行的。