一种通过电泳沉积制备二氧化钒薄膜的方法

摘要

本发明提供一种制备二氧化钒薄膜的方法，其特征在于，先将二氧化钒粉体加入到溶剂中，然后加规定量碘单质、超声分散，制备出分散较好的悬浮液，作为电泳沉积液。使用导电衬底作电极，用直流电源来提供电压或电流，将电极放入到二氧化钒悬浮液中，通过调节电压、电流、沉积时间等在电极上直接得到二氧化钒沉积薄膜，自然晾干或烘干。本发明方法的特点在于先成相后成膜，电极上不发生电化学反应，沉积前后粉体的相不发生变化、克服了现有制备技术先成膜后成相而导致薄膜不纯的缺点。本发明膜厚可以控制，工艺简单，反应条件温和，沉积时间短，膜层生长速率快，稳定性高，废液可以循环利用，经济且无污染，适合大面积和大批量生产。

主权项

一种通过电泳沉积制备二氧化钒薄膜的方法，包括以下步骤： (1)将二氧化钒粉体加入到带极性基团的有机溶剂中，形成悬浮液或溶胶； (2)向步骤(1)得到的悬浮液或溶胶中加入碘单质，分散均匀； (3)向步骤(2)中得到的悬浮液中放入电极，开始电泳沉积，沉积电压为10～100V，沉积时间为0.5～15.0分钟；电极保持平行，其间距为0.5～4.0cm； (4)将步骤(3)中在电极上得到的薄膜干燥，得到二氧化钒薄膜。