板状被搬送物的传送方法、传送装置及图案形成装置

摘要

本发明提供一种板状被搬送物的传送方法、传送装置及图案形成装置。板状被搬送物的传送方法是将由第一保持器件支撑下表面周缘部而保持的板状被搬送物良好地传送至第二保持器件，第二保持器件在第一保持器件上方吸附保持板状被搬送物上表面。该方法包括：使第一吸附构件自设置在第二保持器件的第一贯穿孔下降，吸附保持板状被搬送物上表面；使第二吸附构件从与第一贯穿孔不同位置处的第二贯穿孔下降，吸附保持板状被搬送物上表面中不同的位置；使第一及第二吸附构件升起，后退至第一及第二贯穿孔内，使板状被搬送物自第一保持器件移动至第二保持器件。

主权项

一种板状被搬送物的传送方法，将由第一保持器件以支撑下表面周缘部的状态保持的板状被搬送物传送至第二保持器件，该第二保持器件是在所述第一保持器件的上方吸附保持所述板状被搬送物的上表面，该板状被搬送物的传送方法的特征在于包括：第一吸附步骤，使第一吸附构件自上下方向贯穿地设置在所述第二保持器件的第一贯穿孔下降，吸附保持由所述第一保持器件保持的所述板状被搬送物的上表面的第一吸附位置；第二吸附步骤，使第二吸附构件从与所述第一贯穿孔不同的位置处上下方向贯穿地设置在所述第二保持器件的第二贯穿孔下降，吸附保持所述板状被搬送物的上表面中与所述第一吸附位置不同的第二吸附位置；及移动步骤，使保持着所述板状被搬送物的所述第一吸附构件及所述第二吸附构件升起，分别后退至所述第一贯穿孔内及所述第二贯穿孔内，使所述板状被搬送物自所述第一保持器件移动至所述第二保持器件。