偏光变换元件、光学照明装置、曝光装置以及曝光方法

摘要

一种偏光变换元件，可以将有约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的入射光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光，且可以防止光量损失。偏光变换元件(10)变换入射光的偏光状态成为所定的偏光状态。例如利用有如水晶旋光性的光学材料所形成，在周方向有厚度变化的分布。厚度分布，被设定使约为单一方向的偏光方向的直线偏光状态的光，变换成有约为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光。周方向被分割成有多个区域(10A～10D)，且这些区域中的任意2相邻区域的厚度不同。又，这些区域中的任意2相对区域有大约相等的旋光角度。

主权项

一种偏光变换元件，能够与照明光学系统组合使用、且将沿着所述照明光学系统的光路而行进的入射光的偏光状态变换成一所定的偏光状态，所述偏光变换元件的特征在于：所述偏光变换元件在周方向上具有被分割的多个区域；该偏光变换元件利用有旋光性的光学材料所形成，且有在周方向变化的一厚度分布；其中，该厚度分布被设定成：使将有单一方向的偏光方向的直线偏光状态的所述入射光，在所述多个区域的每一个中，变换成有为周方向的偏光方向的周方向偏光状态的光、或是有在径向方向的偏光方向的径方向偏光状态的光；该偏光变换元件设置成以沿着所述照明光学系统的光轴作为中心而可以回转。