物理量测量装置及物理量测量方法

摘要

本发明确切地测量在温度变化的氛围中处理被处理体时的物理量。物理量测量装置(90)设置在玻璃基板G的表面。物理量测量装置(90)包含：测量电路(91)；温度传感器(92)，其电阻值根据玻璃基板G的温度变化而变化；第一布线(93)，其将测量电路(91)与温度传感器(92)连接；虚拟传感器(94)，其具有预先规定的电阻值，且电阻值相对于玻璃基板G的温度变化的变化量比温度传感器(92)的电阻值相对于玻璃基板G的温度变化的变化量小；及第二布线(95)，其将测量电路(91)与虚拟传感器(94)连接。第一布线(93)的电阻值相对于玻璃基板G的温度变化的变化量与第二布线(95)的电阻值相对于玻璃基板G的温度变化的变化量的比率为固定。

主权项

一种物理量测量装置，其特征在于：其设置在被处理体的表面，且测量在温度变化的氛围中处理被处理体时的物理量；且包含：物理量传感器，其电阻值根据所述物理量的变化而变化；虚拟传感器，其具有预先规定的电阻值，且电阻值相对于所述物理量的变化的变化量比所述物理量传感器的电阻值相对于所述物理量的变化的变化量小；第一布线，其将所述物理量传感器与测量电路连接；及第二布线，其将所述虚拟传感器与所述测量电路连接；所述第一布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量与所述第二布线的电阻值相对于被处理体的温度变化的变化量的比率为固定；所述第一布线与所述第二布线至少在一边搬送被处理体一边进行热处理的搬送方向上延伸；在被处理体的搬送中，所述第一布线与所述第二布线分别配置在相同的温度环境下；所述物理量是被处理体的温度，或是所述氛围的气体流量及流速；所述物理量传感器是测定被处理体温度的温度传感器，或是测量气体流量及流速的热流量计。