压力传感器

摘要

本实用新型公开了一种压力传感器，包括外部封装结构，设置于所述外部封装结构内的压力传感器芯片和集成电路芯片，以及透气孔，所述透气孔连通所述压力传感器内外部，并且，本实用新型压力传感器还包括有缓冲部，所述缓冲部设置于所述外部封装结构内，压力传感器芯片通过缓冲部与基板固定，缓冲部的设置避免外部应力通过基板作用于压力传感器芯片上，在压力传感器装配、使用过程中，外部应力传递到基板后，经缓冲部缓冲卸掉，不作用于压力传感器芯片上，避免外部应力对压力传感器产生影响导致传感器误差，提高压力传感器精度，使压力传感器性能稳定。因此，本实用新型压力传感器具有性能优良的优点。

主权项

一种压力传感器，包括外部封装结构，设置于所述外部封装结构内的压力传感器芯片，集成电路芯片，以及透气孔，所述透气孔连通所述压力传感器内外部，所述外部封装结构包括基板，其特征在于：所述压力传感器还包括缓冲部，所述缓冲部设置于所述外部封装结构内的所述基板上，所述压力传感器芯片设置于所述缓冲部远离所述基板一侧。