一种SiO粉末的制造装置

摘要

本实用新型公开了一种SiO粉末的制造装置，包括气体流动方向控制组件，原料室与析出室相对水平设置，析出室内设置回转式析出基体。该制造装置使得析出比表面积更大，热传导效率更高，分区温度控制更加精确，析出产能及品质更高；同时，对于升华气体进行惰性气流撞击及导向控制，有助于提高析出颗粒粒径分布的一致性。

主权项

一种SiO粉末的制造装置，包括真空室、密封组件、隔热组件、原料室、析出室、温度控制系统和冷却水系统，所述密封组件连接所述原料室与所述析出室，所述原料室内设置有原料容器，所述析出室内设置有析出基体，其特征在于，所述制造装置包括气体流动方向控制组件，原料室与析出室相对水平设置。