探针卡用导板

摘要

本发明涉及探针卡用导板。提供了一种通过增大贯通孔的缘部处的机械强度，能够应对贯通孔的微型化和节距减小的探针卡用导板。探针卡用导板（100）包括具有表面（110a、110b）和贯通孔（111）的硅基板（110）、贯通孔的缘部（113a、113b）以及形成在缘部上的曲面部（122a、122b）。贯通孔被构造为引导探针（200）并且包括内壁面（112）。缘部由硅基板的表面和贯通孔的内壁面构成。曲面部由二氧化硅膜形成。

主权项

一种探针卡用导板，该探针卡用导板包括：具有表面和贯通孔的硅基板，所述贯通孔被构造为引导探针并且包括内壁面；所述贯通孔的缘部，所述缘部由所述硅基板的所述表面和所述贯通孔的所述内壁面构成；以及曲面部，该曲面部形成在所述缘部上，所述曲面部由二氧化硅膜形成。