| 发明名称 | 涂覆基材的方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种在基材上涂覆氧化锌膜的方法，该方法包含以下步骤：-提供一具有至少一实质上平坦表面的基材；-将至少部分的该表面进行一等离子刻蚀工艺；-在该经刻蚀的表面上沉积一层，该层包含氧化锌；本发明方法特别适用于制造具有提升效能的太阳能电池。 | ||
| 申请公布号 | CN102712999B | 申请公布日期 | 2014.09.24 |
| 申请号 | CN201080045703.6 | 申请日期 | 2010.09.27 |
| 申请人 | 东电电子太阳能股份公司 | 发明人 | D·伯雷罗;E·瓦拉特-萨维恩;J·斯德恩豪瑟;U·克罗尔;J·迈耶 |
| 分类号 | C23C16/02(2006.01)I;C23C16/40(2006.01)I;C23C14/02(2006.01)I;C23C14/08(2006.01)I;H01L31/0224(2006.01)I;H01L31/0236(2006.01)I;C23C30/00(2006.01)I | 主分类号 | C23C16/02(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 陆嘉 |
| 主权项 | 一种在基材上涂覆氧化锌膜的方法，该方法包含以下步骤：提供一具有至少一实质上平坦表面的基材；将至少部分的该表面进行一等离子刻蚀工艺；以化学气相沉积(CVD)或物理气相沉积(PVD)在该经刻蚀的表面上沉积一层，该层包含氧化锌；其中使用一玻璃基材，并使用一六氟化硫与O<sub>2</sub>比例为5/1的混合物的等离子。 | ||
| 地址 | 瑞士忒瑞布巴赫 | ||