半导体装置以及应变监视装置

摘要

一种半导体装置，在半导体装置中半导体基板具有第1及第2区域。在上述半导体基板的上述第1区域中设有绝缘栅场效应晶体管。设有应变仪部，该应变仪部具有：长条的金属电阻体，设置在上述半导体基板的上述第2区域中的上述半导体基板的上表面的内侧；第1绝缘膜，设置在上述半导体基板与上述金属电阻体之间，延伸至上述半导体基板的上述上表面；以及第2绝缘膜，跨过上述金属电阻体而设置在上述第1绝缘膜上方。上述半导体基板载置于基板。

主权项

一种半导体装置，其特征在于，具备：基板；半导体基板，载置于上述基板，具有第1区域以及第2区域；绝缘栅场效应晶体管，设置于上述半导体基板的上述第1区域；以及应变仪部，具有长条的金属电阻体、第1绝缘膜以及第2绝缘膜，上述金属电阻体设置在上述半导体基板的上述第2区域中的上述半导体基板的上表面的内侧，上述第1绝缘膜设置在上述半导体基板与上述金属电阻体之间，延伸至上述半导体基板的上述上表面，上述第2绝缘膜跨过上述金属电阻体而设置在上述第1绝缘膜上方。