发明名称 |
精密表面缺陷散射三维显微成像装置 |
摘要 |
本发明公开了一种精密表面缺陷散射三维显微成像装置。本发明包括光源、光束准直系统、光栅、移相压电陶瓷、移相驱动器、电动旋转台、伺服电机驱动器、投影物镜、偏振分光镜、显微物镜、Z向扫描压电陶瓷、Z向扫描驱动器、待测样品、成像透镜、探测器和计算机;光栅置于电动旋转台中心,移相压电陶瓷通过移相驱动器与计算机相连接,电动旋转台通过伺服电机驱动器与计算机相连接,Z向扫描压电陶瓷通过Z向扫描驱动器与计算机相连接;光源、光束准直系统、光栅、投影物镜、偏振分光镜、显微物镜以及待测样品在条纹投影照明光路中顺序排列。本发明解决了普通显微镜无法获取疵病深度的问题,实现了对精密表面缺陷的暗场三维显微成像。 |
申请公布号 |
CN104062233A |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201410294723.7 |
申请日期 |
2014.06.26 |
申请人 |
浙江大学 |
发明人 |
杨甬英;刘东;凌曈;李璐;岳秀梅 |
分类号 |
G01N21/01(2006.01)I;G01N21/88(2006.01)I |
主分类号 |
G01N21/01(2006.01)I |
代理机构 |
杭州求是专利事务所有限公司 33200 |
代理人 |
杜军 |
主权项 |
精密表面缺陷散射三维显微成像装置,其特征在于包括光源、光束准直系统、光栅、移相压电陶瓷、移相驱动器、电动旋转台、伺服电机驱动器、投影物镜、偏振分光镜、显微物镜、Z向扫描压电陶瓷、Z向扫描驱动器、待测样品、成像透镜、探测器和计算机;其中,光栅置于内部安装有压电陶瓷的电动旋转台中心,移相压电陶瓷通过移相驱动器与计算机相连接,电动旋转台通过伺服电机驱动器与计算机相连接,Z向扫描压电陶瓷通过Z向扫描驱动器与计算机相连接;光源、光束准直系统、光栅、投影物镜、偏振分光镜、显微物镜以及待测样品在条纹投影照明光路中顺序排列;待测样品、显微物镜、偏振分光镜、成像透镜和探测器在显微成像光路中顺序排列。 |
地址 |
310027 浙江省杭州市浙大路38号 |