发明名称 |
一种用于制造有机发光显示器的掩模板 |
摘要 |
本发明公开了一种用于制造有机发光显示器的掩模板,其包括平面板及形成在平面板上的开口,所述开口按预设的位置排列,所述开口内壁在任意一个垂直于所述平面板上下平面的截面上形成平滑过渡曲线,所述平滑过渡曲线与所述平面板上下平面为非垂直结构且与所述平面板上下平面形成的图形为蒸镀源一侧开口大、另一侧开口小的结构;此种结构在蒸镀过程中不出现可能存在的死角,可以完全避免现有结构对沉积均匀性造成的影响,对产品的质量提升有极大的帮助。 |
申请公布号 |
CN104060219A |
申请公布日期 |
2014.09.24 |
申请号 |
CN201310087649.7 |
申请日期 |
2013.03.19 |
申请人 |
昆山允升吉光电科技有限公司 |
发明人 |
魏志凌 |
分类号 |
C23C14/04(2006.01)I;H01L51/56(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/04(2006.01)I |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
一种用于制造有机发光显示器的掩模板,其包括平面板及形成在平面板上的开口,其特征在于:所述开口按预设的位置排列,所述开口内壁在任意一个垂直于所述平面板上下平面的截面上形成平滑过渡曲线,所述平滑过渡曲线与所述平面板上下平面为非垂直结构且与所述平面板上下平面形成的图形为蒸镀源一侧开口大、另一侧开口小的结构,所述平滑过渡曲线的所有曲线的曲率中心位于所述开口一侧。 |
地址 |
215300 江苏省苏州市昆山市巴城镇红杨路888号 |