| 发明名称 | 加工夹具、加工装置及加工方法 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态大概涉及加工夹具、加工装置及加工方法。提供能够提高加工精度的加工夹具、加工装置及加工方法。实施形态的加工夹具具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；检测部，具有导电性，具备设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部，以及分别连接在上述连接部两端的布线部。 | ||
| 申请公布号 | CN104057547A | 申请公布日期 | 2014.09.24 |
| 申请号 | CN201410071820.X | 申请日期 | 2014.02.28 |
| 申请人 | 株式会社东芝 | 发明人 | 须藤正昭 |
| 分类号 | B28D7/04(2006.01)I;B28D5/02(2006.01)I;H01L21/301(2006.01)I | 主分类号 | B28D7/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 72002 | 代理人 | 徐冰冰;黄剑锋 |
| 主权项 | 一种加工夹具，具备：基部，在一个面上具有保持加工物的区域；以及检测部，具有导电性，具备设置在保持上述加工物的区域的周边的连接部、和分别连接在上述连接部两端的布线部。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||