主权项 |
一种抗反射涂层组合物,包括不含芳族发色团的聚合物、酸产生剂和任选的交联剂,其中该聚合物包括衍生自二酸、三酸、二酸酐或它的相应的四酸或前述化合物的混合物的结构单元和衍生自二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物、含三环氧的化合物或前述化合物的混合物的结构单元,其中所述二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物或含三环氧的化合物含有一个或多个氮和/或硫原子或含有一个或多个亚烷基;其中该聚合物包括结构(1)或(2)的重复单元,其中结构(1)或结构(2)中的Y、Y1或这两者是如下的结构部分(3),<img file="FSB0000125281620000011.GIF" wi="1881" he="1341" />其中Y和Y1各自独立地为非芳族连接结构部分;Z和Z1各自独立地为衍生自二醇、二硫醇、三醇、三硫醇、含二环氧的化合物或含三环氧的化合物的结构单元;R<sub>1</sub>和R<sub>10</sub>各自独立地为氢或衍生自含单环氧的化合物的结构单元;R<sub>2</sub>和R<sub>20</sub>各自独立地为R<sub>1</sub>或衍生自二硫醇、三硫醇、含二环氧的化合物或含三环氧的化合物的结构单元;Q1、Q2、Q3和Q4各自独立地为直接键或C<sub>1‑4</sub>亚烷基;h和h1各自独立地为0或1;和k或k1各自独立地为0或1。 |