具有自动对焦功能之诊断设备

摘要

一种自动对焦之诊断设备，包括影像侦测装置、第一扫描装置、移动式光学透镜组件、聚焦侦测装置及第一分光元件。影像侦测装置包括提供第一入射光之第一光源及第一光侦测器。第一入射光入射至待测物后产生为第一讯号光，第一光侦测器接收第一讯号光。第一扫描装置调整第一入射光路径以扫描待测物。聚焦侦测装置包括侦测待测物反射之第二讯号光的第二光侦测器、聚焦误差产生元件及控制单元。移动式光学透镜组件具透镜及承载透镜之位移台。控制单元电性连接第二光侦测器及位移台以依据第二讯号光控制位移台移动并调整第一入射光的聚焦位置。

主权项

一种自动对焦之诊断设备，包括：一影像侦测装置，包括一第一光源及一第一光侦测器，该第一光源系提供一第一入射光，该第一入射光入射至一待测物产生一第一讯号光，该第一光侦测器用以接收该第一讯号光；一第一扫描装置，用以调整该第一入射光之路径，以对该待测物进行扫描；一移动式光学透镜组件，具有一透镜及一位移台，该位移台系承载该透镜；一聚焦侦测装置，包括：一第二光侦测器，用以侦测该待测物反射之一第二讯号光；一聚焦误差产生元件，设置于该第二光侦测器及该移动式光学透镜组件之间；及一控制单元，电性连接于该第二光侦测器及该位移台，以依据该第二讯号光所转换成的电讯号控制该位移台之移动并调整该第一入射光的聚焦位置；以及一第一分光元件，用以将该第一讯号光传递至该第一光侦测器且将该第二讯号光传递至该第二光侦测器。