制造光谱仪之方法

摘要

一种制造光谱仪之方法，以藉由现有微机电制程技术，使光谱仪结构得以具体实现微型化，实施时，本发明系于一基板(或一氧化层)上，透过多次的矽微细加工制程，制得一光通道模组，光通道模组仅需再与一光感测模组组设，便可制成一光谱仪，藉此，以将光谱仪具体微型化，突破现有光谱仪因机构组成的限制，改善现有光谱仪无法与其他电子装置进行微性化整合的问题。

主权项

一种制造光谱仪之方法，其包括：透过蚀刻的方式在一基板上成型一入射狭缝部；在该基板上延伸该入射狭缝部而蚀刻成型一光通道，其中该光通道贯穿该基板；在该光通道中组设一分光件；将另一基板叠合于该基板上成型有光通道之一面，而得到一光通道模组；以及将该光通道模组与一光感测模组组设，以制成一光谱仪。