| 发明名称 |
研浆组成物及其用途 |
| 摘要 |
一种研浆组成物，其组成总量为100重量%，且包括研磨粒及溶剂。研磨粒的含量为30重量%至60重量%，且研磨粒的真球因数为0.9至1.0。溶剂的含量为40重量%至70重量%。所述研浆组成物可大幅地降低研磨温度。 |
| 申请公布号 |
TWI453273 |
申请公布日期 |
2014.09.21 |
| 申请号 |
TW100140562 |
申请日期 |
2011.11.07 |
| 申请人 |
盟智科技股份有限公司 桃园县中坜市东园路33号 |
发明人 |
郭哲宇;蔡文财;张松源;陆明辉 |
| 分类号 |
C09K3/14;H01L21/304 |
主分类号 |
C09K3/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
詹铭文 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1;叶璟宗 台北市中正区罗斯福路2段100号7楼之1 |
| 主权项 |
一种研浆组成物，其组成总量为100重量%，且包括：研磨粒，其含量为30重量%至60重量%，且所述研磨粒的真球因数(sphericity factor)为0.9至1.0；以及溶剂，其含量为40重量%至70重量%。 |
| 地址 |
桃园县中坜市东园路33号 |
