透明导电膜及透明导电膜之制造方法

摘要

本发明提供一种ZnO系透明导电膜及其制造方法，该ZnO系透明导电膜具备可实际应用之耐湿性、作为透明导电膜所必需之特性，且经济性优异。于以ZnO作为主要成分之透明导电膜(ZnO膜)中，形成具备ZnO膜具有粒状结晶结构之区域的构成。于ZnO膜中掺杂III族元素。又，将III族元素之掺杂量设为以氧化物质量换算为0.8~11.5重量%。又，将III族元素设为选自由Ga、Al及In所组成之群中的至少1种。将ZnO(002)摇摆曲线之半宽度设为10.5°以下。于基体上使ZnO膜成膜之期间，使基体静止。对于靶材，一面供给DC脉冲电源一面进行氧化锌膜之成膜。

主权项

一种透明导电膜，其特征在于：其系使氧化锌(ZnO)膜成长于基体上而成者，上述氧化锌膜具备具有粒状结晶结构之区域，其中在上述氧化锌膜中掺杂有III族元素，上述III族元素之掺杂量以氧化物质量换算为0.8~11.5重量%，上述III族元素系选自由Ga、Al及In所组成之群中的至少1种。