用于电浆蚀刻性能增强的方法

摘要

提供一种用于在一介电层中蚀刻特征的方法。在该介电层上形成一遮罩。在该遮罩的暴露表面上形成一保护性含矽涂层。藉由该遮罩和保护性含矽涂层来蚀刻该些特征。在形成该保护性含矽涂层之前，可局部地蚀刻该些特征。

主权项

一种用于在一介电层中蚀刻特征的方法，包含：在该介电层上形成一遮罩；在该遮罩的暴露表面上形成一保护性含矽涂层，其中该形成该保护性含矽涂层包含：提供包含SiF4与H2的一保护性涂敷气体；将该保护性涂敷气体转换成一电浆；沈积来自该电浆的该保护性矽涂层；以及停止该保护性涂敷气体；以及将该些特征蚀刻穿过该遮罩和保护性含矽涂层。