| 发明名称 |
用于制造显示装置之设备 |
| 摘要 |
本发明系关于一种形成一薄膜之设备，其包括：一室；一在该室中之基座；一在该基座上之气体注入器，该气体注入器具有复数个注入孔；一连接至该气体注入器之轴，该轴具有一连接至该等复数个注入孔之流道；及一蒸镀源，该蒸镀源蒸发源材料及为该气体注入器供应经蒸发之源材料。 |
| 申请公布号 |
TWI453800 |
申请公布日期 |
2014.09.21 |
| 申请号 |
TW094136806 |
申请日期 |
2005.10.21 |
| 申请人 |
周星工程股份有限公司 南韩 |
发明人 |
金宰湖 |
| 分类号 |
H01L21/203;C23C14/24;H01L51/40 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
陈长文 台北市松山区敦化北路201号7楼 |
| 主权项 |
一种形成一薄膜之设备，包括：一室；一在该室中之基座；一在该基座上方之气体注入器，该气体注入器具有复数个注入孔；一连接至该气体注入器之轴，该轴具有一连接至该等复数个注入孔之流道；一包围该轴之外壳；一位于该外壳与该轴之间之磁性密封物；及一蒸镀源，该蒸镀源蒸发源材料及向该气体注入器供应经蒸发之源材料，其中该蒸镀源系配置于该磁性密封物与该等复数个注入孔之间。 |
| 地址 |
南韩 |
