乾式真空泵密封结构

摘要

本创作系一种乾式真空泵密封结构，真空泵主要由壳体、一对螺旋转子、机械轴封组件及高压端板，乾式真空泵系装设一可带动螺旋转子的马达，高压端板上的排气通道连接有排气管串联水冷式一次冷却器，因此乾式真空泵内的高温气体则会透过水冷式一次冷却器进行初步降温，另外连接水冷式一次冷却器的水冷式二次冷却器则可针对气体进行最终降温，使气体降低至可再次进行冷却的温度，并将此气体经由该进气通道对机械轴封组件降温，进而能大幅降低机械轴封组件损坏的机会，并延长使用寿命及降低整体维修成本。

主权项

一种乾式真空泵密封结构，系包括一壳体，该壳体系形成一转子室及至少一与该转子室相通之稀释进气口；一对螺旋转子，该螺旋转子于两端分别界定一低压侧轴部及一高压侧轴部，且该低压侧轴部系枢设于该壳体并将该螺旋转子设置于该转子室；一机械轴封组件，该机械轴封组件系包含：一动环，该动环系套设于该高压侧轴部；二静环，各该静环套设于该高压侧轴部并位于该动环两侧；及一高压端板，该高压端板系装设于该壳体使该转子室呈密封装态，且该高压端板系形成一供枢设该高压侧轴部并容置该动环及各该静环之容置空间、一与该转子室相通之排气通道及一与该容置空间相通之进气通道。