用于供应及卸放具有电子元件之载具之方法及装置

摘要

本发明关于将一具有电子元件之载具自一供应容器移至一处理站之方法，将一具有电子元件之载具自处理站移至一供应容器之方法，以及将具有电子元件之载具供应至一处理站及自一处理站中卸放之方法。本发明也关于用于将一具有电子元件之载具移动于一供应容器及一处理站之间之装置，及关于一种具有用于具有电子元件之载具之处理站之这种装置之组件。

主权项

一种将一具有电子元件之载具自一供应容器移至一处理站之方法，包括下列处理步骤：A)将含有欲处理之具有电子元件之载具之供应容器置于一特定高度，以使该欲处理之具有电子元件之载具至少实质地落在具有一处理站中间位置之平面内，B)将该欲处理之具有电子元件之载具自该供应容器移至一第一平面之中间位置，及C)使该欲处理之具有电子元件之载具自该中间位置前进至与该第一平面平行之一第二平面内之处理站之一处理位置，其特征在于：在根据处理步骤C)馈进该载具后，该处理站执行一密封程序，其中，该电子元件系至少部分密封。