发明名称 PROCEDE ET REALISATION D'UN SUBSTRAT MUNI D'UNE PROTECTION DE BORD
摘要 Le Procédé de réalisation d'un substrat muni d'une protection de ses bords, comporte une première étape consistant à fournir un substrat (10) à base d'un matériau semi-conducteur. Le substrat comporte des première (11) et deuxième (12) faces principales opposées reliées par une surface latérale (13). Une première couche (14) en premier matériau de protection est alors formée de manière à enrober le substrat (10). Le premier matériau de protection est ensuite gravé sur la surface latérale (13) en laissant un motif (11', 12') en premier matériau de protection recouvrant au moins partiellement chacune des première (11) et deuxième (12) faces, puis une deuxième couche de protection (15) en deuxième matériau de protection est formée sur la surface latérale (13) dépourvue du premier matériau de protection. Après la formation de la deuxième couche de protection (15), le premier matériau de protection est éliminé du substrat (10).
申请公布号 FR3003395(A1) 申请公布日期 2014.09.19
申请号 FR20130000609 申请日期 2013.03.15
申请人 COMMISSARIAT A L'ENERGIE ATOMIQUE ET AUX ENERGIESALTERNATIVES;STMICROELECTRONICS SA 发明人 PREVITALI BERNARD;ARVET CHRISTIAN
分类号 H01L21/08;H01L21/335 主分类号 H01L21/08
代理机构 代理人
主权项
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