Beleuchtungsoptik für ein Maskeninspektionssystem sowie Maskeninspektionssystem mit einer derartigen Beleuchtungsoptik

摘要

Eine Beleuchtungsoptik (1) für ein Maskeninspektionssystem wird mit EUV-Beleuchtungslicht (2) eingesetzt. Ein Hohlwellenleiter (9) der Beleuchtungsoptik (1) dient zur Führung des Beleuchtungslichts (2). Der Hohlwellenleiter (9) hat eine Eintrittsöffnung (7) für das Beleuchtungslicht (2) und eine Austrittsöffnung (10) für das Beleuchtungslicht (2). Zur Abbildung der Austrittsöffnung (10) in ein Beleuchtungsfeld (4) dient eine dem Hohlwellenleiter (9) nachgeordnete abbildende Optik (11). Diese hat mindestens einen Spiegel (14, 15) für streifenden Einfall des Beleuchtungslichts (2) mit einem mittleren Einfallswinkel (α1, α2), der größer ist als 60°. Es resultiert eine Beleuchtungsoptik, deren Durchsatz für das EUV-Beleuchtungslicht optimiert ist.