Sensor und Verfahren zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums

摘要

Es wird ein Sensor zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums vorgeschlagen. Der Sensor weist ein Substrat, welches zumindest eine Durchkontaktierung aufweist, und einen Wellenleiter auf, welcher planar in Bezug auf eine obere Oberfläche des Substrats angeordnet ist. Der Wellenleiter ist über die zumindest eine Durchkontaktierung mit einer Analysevorrichtung verbindbar. Des Weiteren ist der Wellenleiter dazu eingerichtet, ein Eingangssignal von der Analysevorrichtung zu empfangen und ein Ausgangssignal an die Analysevorrichtung auszugeben, wobei Eigenschaften des Eingangssignals und des Ausgangssignals bei Kontakt des Wellenleiters mit einem Medium indikativ für die dielektrische Eigenschaft des Mediums sind. Durch die Anordnung des Wellenleiters planar in Bezug auf das Substrat werden größere Messbereiche und verbesserte Messgenauigkeiten ermöglicht. Des Weiteren wird durch den planaren Aufbau eine kompakte Bauweise erreicht. Ferner werden eine Sensoranordnung sowie ein Verfahren zur Ermittlung einer dielektrischen Eigenschaft eines Mediums mittels eines Sensors vorgeschlagen.