发明名称 |
Vorrichtung und Verfahren zum Lasertransfermetallisieren |
摘要 |
<p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (200) zum Lasertransfermetallisieren eines plattenförmigen Substrats (108) mit einer Einrichtung (202) zum Fixieren und einer Einrichtung (204) zum Anordnen. Die Einrichtung (202) zum Fixieren des Substrats (108) ist dazu ausgebildet, das Substrat (108) zum Lasertransfermetallisieren zu fixieren. Die Einrichtung (204) zum Anordnen einer Opferfolie (110) ist dazu ausgebildet, die Opferfolie (110) für einen Laserstrahl (114) abtastbar zugänglich mit einem Transferabstand (210) beabstandet zu einer Oberfläche des Substrats (108) anzuordnen.</p> |
申请公布号 |
DE102013204465(A1) |
申请公布日期 |
2014.09.18 |
申请号 |
DE201310204465 |
申请日期 |
2013.03.14 |
申请人 |
ROBERT BOSCH GMBH |
发明人 |
DIEZ, MICHAEL;AICHELE, JAN;KIEDROWSKI, THOMAS |
分类号 |
H01L21/283;H01L31/18 |
主分类号 |
H01L21/283 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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