发明名称 Vorrichtung und Verfahren zum Lasertransfermetallisieren
摘要 <p>Die Erfindung betrifft eine Vorrichtung (200) zum Lasertransfermetallisieren eines plattenförmigen Substrats (108) mit einer Einrichtung (202) zum Fixieren und einer Einrichtung (204) zum Anordnen. Die Einrichtung (202) zum Fixieren des Substrats (108) ist dazu ausgebildet, das Substrat (108) zum Lasertransfermetallisieren zu fixieren. Die Einrichtung (204) zum Anordnen einer Opferfolie (110) ist dazu ausgebildet, die Opferfolie (110) für einen Laserstrahl (114) abtastbar zugänglich mit einem Transferabstand (210) beabstandet zu einer Oberfläche des Substrats (108) anzuordnen.</p>
申请公布号 DE102013204465(A1) 申请公布日期 2014.09.18
申请号 DE201310204465 申请日期 2013.03.14
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 DIEZ, MICHAEL;AICHELE, JAN;KIEDROWSKI, THOMAS
分类号 H01L21/283;H01L31/18 主分类号 H01L21/283
代理机构 代理人
主权项
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