发明名称 具有排气孔的光感测器件
摘要 本发明的光感测器件包括衬底、位于衬底上的光感测区、以及位于所述衬底上方的光屏蔽层。光屏蔽层不覆盖光感测区。至少一个排气孔形成穿过光屏蔽层。
申请公布号 CN104051480A 申请公布日期 2014.09.17
申请号 CN201310498884.3 申请日期 2013.10.22
申请人 台湾积体电路制造股份有限公司 发明人 蔡宗翰;李国政;张简旭珂;郑志成
分类号 H01L27/146(2006.01)I 主分类号 H01L27/146(2006.01)I
代理机构 北京德恒律治知识产权代理有限公司 11409 代理人 章社杲;孙征
主权项 一种光感测器件,包括:衬底;光感测区,位于所述衬底上;光屏蔽层,位于所述衬底上方,所述光屏蔽层不覆盖所述光感测区;以及至少一个排气孔,形成为穿过所述光屏蔽层。
地址 中国台湾新竹