发明名称 |
一种太阳能电池的制作方法 |
摘要 |
本发明涉及一种太阳能电池的制作方法,将硅片进过表面结构化、制作发射极、周边刻蚀、磷硅玻璃去除后再进行沉积氮化硅膜;将沉积氮化硅膜后的硅片进行高温退火;再依次采用丝印正反面电极和背铝、烧结。该方法可以有效的提高氮化硅薄膜的均匀性以及致密性,同时高温退火减少了硅片中的微缺陷和杂质离子,增加了氮化硅薄膜的钝化效果,这样电池片的少数载流子寿命得到了一定提高,可使短路电流密度提高0.05-1mA/cm<sup>2</sup>,开路电压提高1-5mV,转化效率提高0.05-0.25%;另外,本发明制备的电池片可以提高其抗PID的能力,具有重大的生产实践价值,增强企业的竞争力。 |
申请公布号 |
CN104051570A |
申请公布日期 |
2014.09.17 |
申请号 |
CN201410251453.1 |
申请日期 |
2014.06.09 |
申请人 |
山东力诺太阳能电力股份有限公司 |
发明人 |
任现坤;姜言森;贾河顺;马继磊;张春艳;徐振华;王光利;尹兰超;黄国强 |
分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
主分类号 |
H01L31/18(2006.01)I |
代理机构 |
济南舜源专利事务所有限公司 37205 |
代理人 |
于晓晓 |
主权项 |
一种太阳能电池的制作方法,其特征在于,步骤包括:(1)将硅片进过表面结构化、制作发射极、周边刻蚀、磷硅玻璃去除;(2)将步骤(1)所得硅片进行沉积氮化硅膜;(3)将步骤(2)所得硅片进行高温退火;(4)将步骤(3)所得硅片再依次采用丝印正反面电极和背铝、烧结。 |
地址 |
250103 山东省济南市历城区经十东路30766号力诺科技园 |