现场超高纯度化学品或气体的纯化

摘要

提供了一种现场纯化设备/系统，在0%至100%的现场设备调节比内向制备过程递送高和超高纯度产品，例如工艺化学品、工业和特种气体，同时将所供应物质的预先确定的纯度保持在预定的规格范围内。通过将产品重新引回现场纯化设备/系统中来实现保持纯化装置/单元中的至少一个中的液体/蒸气比，以确保产品纯度范围保持不变。

主权项

一种现场纯化系统，其包括：1）包括待纯化化学品或气体的进料流；2）至少两个用于接收和纯化所述进料流的纯化单元；3）至少一个从所述纯化单元流出的纯化流；4）用于接收所述至少一个纯化流的自动化的流控制系统；其中所述所述自动化的流控制系统包括：输出产品接点和反馈接点；5）至少一个从所述自动化的流控制系统流出的产品流；和6）至少一个从所述自动化的流控制系统流出并流入所述至少两个纯化单元中的至少一个中的反馈流。