发明名称 用于检测HCN气体的石英晶体微天平传感器及其制法和应用
摘要 本发明涉及可用于快速检测剧毒HCN气体的石英晶体微天平传感器及其制备方法和应用。本发明的石英晶体微天平传感器,是在石英晶体微天平传感器的石英晶体微天平晶振的电极的两个表面均修饰有直径为3~6μm的微米级花状结构的氢氧化镍球。本发明的石英晶体微天平传感器具有体积小,可方便转移至HCN气体检测装置中的优势。采用微米级花状结构的氢氧化镍球修饰的石英晶体微天平晶振的电极,作为石英晶体微天平传感器的电极,该石英晶体微天平传感器对HCN气体响应灵敏,针对低浓度(20ppm)的HCN气体表现出了很好的响应性。
申请公布号 CN104048893A 申请公布日期 2014.09.17
申请号 CN201410276034.3 申请日期 2014.06.19
申请人 中国科学院理化技术研究所 发明人 贺军辉;胡明镇
分类号 G01N5/02(2006.01)I 主分类号 G01N5/02(2006.01)I
代理机构 上海智信专利代理有限公司 31002 代理人 李柏
主权项 一种用于检测HCN气体的石英晶体微天平传感器,其特征是:在石英晶体微天平传感器的石英晶体微天平晶振的电极的两个表面均修饰有直径为3~6μm的微米级花状结构的氢氧化镍球,且花状结构氢氧化镍球的每一叶片的厚度为20~30nm。
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