移除颗粒污染物的方法

摘要

用于从衬底表面移除颗粒污染物的装置和方法，包括在所述表面涂覆粘弹性材料层。所述粘弹性材料涂覆为薄膜并显示实质的液体状特征。施加外力到涂覆有所述粘弹性材料的第一区域，以便涂覆有所述粘弹性材料的第二区域基本不受所施加力的作用。施加力的持续时间短于所述粘弹性材料的本征时间以便达到粘弹性材料的固体特征。显示固体状特征的所述粘弹性材料至少部分地与所述表面上存在的所述颗粒污染物中的至少一些相互作用。当所述粘弹性材料显示固体状特征时，所述粘弹性材料和所述颗粒污染物中至少一些一起从所述表面的所述第一区域被移除。

主权项

用于从衬底表面移除颗粒污染物的方法，包括：将粘弹性材料层涂覆到所述表面成为薄膜，所述粘弹性材料显示液体状特征并具有能与所述表面上出现的所述颗粒污染物至少部分相互作用或结合的化学结构；施加力到涂覆有所述粘弹性材料的所述表面的第一区域，以便涂覆有所述粘弹性材料的所述表面的第二区域基本不受所施加的所述力的作用，所施加的所述力的持续时间短于所述粘弹性材料的本征时间；和在施加所述力时从所述第一区域移除所述粘弹性材料，所述粘弹性材料的所述移除包括从所述表面移除所述颗粒中的至少一些；其中当所述粘弹性材料在所述力的所述施加过程中显示固体状特征时，在所述表面的所述第一区域的范围内发生所述移除，并且其中在所述第一区域的所述范围内的所述移除过程中，在所述第二区域，所述粘弹性材料持续显示所述液体状特征。