喷出检查装置及基板处理装置

摘要

本发明涉及喷出检查装置及基板处理装置。基板处理装置的喷出检查部具有光射出部、拍摄部。光射出部沿着事先规定的光存在面射出光，对从喷头的多个喷出口喷出的处理液照射光。拍摄部拍摄通过来自光射出部的面状光的处理液，获取包括多个亮点的检查图像。在喷出检查部中，利用判断框设定部在检查图像上设定与多个喷出口对应的多个正常喷出判断框。然后，利用判断部获取在各正常喷出判断框内有无亮点的有无信息，基于该有无信息，判断与各正常喷出判断框对应的喷出口的喷出动作的好坏。由此，能够逐个并高精度地判断多个喷出口的每一个的喷出动作的好坏。

主权项

一种喷出检查装置，其检查从多个喷出口喷出液体的喷出动作，其特征在于，具有：光射出部，其沿着事先规定的光存在面射出光，由此在多个飞溅体通过所述光存在面时，对多个所述飞溅体照射光，多个所述飞溅体为从多个所述喷出口喷出的液体，拍摄部，其拍摄通过所述光存在面的多个所述飞溅体，由此获取检查图像，该检查图像包括多个所述飞溅体上出现的多个亮点，判断框设定部，其在所述检查图像上，设定与多个所述喷出口对应的多个正常喷出判断框，判断部，其获取各正常喷出判断框内有无亮点的有无信息，基于所述有无信息，判断与各所述正常喷出判断框对应的喷出口的喷出动作的好坏。