| 发明名称 | 一种具有冷却功能的均匀加热装置 | ||
| 摘要 | 本实用新型提供了一种具有冷却功能的均匀加热装置，包括：加热盘和冷却盘，所述加热盘的盘面与所述冷却盘的盘面对应匹配固定连接在一起；所述加热盘中嵌有加热管，所述冷却盘中设有流道。本实用新型由加热盘与冷却盘组成，集成加热与冷却功能；加热盘中均匀嵌有加热管，保证了加热的均匀性；在冷却盘内设有流道，保证了冷却水能快速冷却加热盘。 | ||
| 申请公布号 | CN203839351U | 申请公布日期 | 2014.09.17 |
| 申请号 | CN201420137822.X | 申请日期 | 2014.03.25 |
| 申请人 | 上海微电子装备有限公司 | 发明人 | 余斌 |
| 分类号 | H01L21/67(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/67(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种具有冷却功能的均匀加热装置，其特征在于，包括：加热盘和冷却盘，所述加热盘的盘面与所述冷却盘的盘面对应匹配固定连接在一起；所述加热盘中嵌有加热管，所述冷却盘中设有流道。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区张东路1525号 | ||