焊球印刷机及焊球印刷方法

摘要

本发明提供焊球印刷机及焊球印刷方法，保持基板的平面精度，并且高精度地保持掩模与基板的间隙，不产生焊球的错位地将焊球可靠且高精度地装载于基板上的焊盘（电极部）。焊球印刷机（20）使用填充辊（3）向形成于掩模（1）的多个开口（1a）嵌入焊球（18），在形成于与掩模相对的基板（2）的表面的多个电极部（19）印刷焊球。焊球印刷机具备：装载基板并在背面侧形成多个孔部（4a）的基板载置桌台（6）；装载有该基板载置桌台的印刷桌台（12）；能够将印刷桌台在水平面内驱动的XYθ载置台（13）以及能够上下移动驱动的印刷桌台用气缸（14）；具有能嵌合于基板装载桌台的构件的掩模吸附部（11）；能使该掩模吸附部上下移动驱动的掩模吸附用气缸（10）。

主权项

一种焊球印刷机，使用填充辊向形成于掩模的多个开口嵌入焊球，在形成于与所述掩模相对的基板的表面的多个电极部装载所述焊球，其特征在于，该焊球印刷机具备：装载所述基板并在背面侧形成有多个孔部的基板载置桌台；将装载有该基板载置桌台的桌台能够在水平面内驱动的XYθ载置台以及能够上下移动驱动的第一上下移动驱动机构；掩模吸附部，其具有包含永磁铁的构件，该永磁铁能够嵌合到形成于所述基板装载桌台的背面的多个孔部的各自中；能够使该掩模吸附部上下移动驱动且配置在所述基板载置桌台的下部的第二上下移动驱动机构，所述第一上下移动驱动机构与所述第二上下移动驱动机构能够独立驱动。