三维可控硅基模具制造方法

摘要

本发明涉及模压制造技术中硅基模具的制造,用于在硅基上加工出有连续变化浮雕结构的三维形貌,其主要加工步骤为:1、通过单点金刚石车削技术在金属材料上制作具有连续曲面形貌的浮雕结构的母模具；2、在硅基底上旋涂一层聚合物膜；3、通过热压印技术，将模具上的浮雕结构转移到聚合物上；4、通过等离子体刻蚀将胶上的浮雕结构同比例的转移到硅材料上，获得硅基模具。该方法具有形貌可控，工艺简单，速度快，重复性好的优点。

主权项

一种三维可控硅基模具制造方法，包括以下步骤：1）设计制作所需模具的金属负板:根据实际需要设计硅基模具的负板，应用单点金刚石切削技术在金属材料表面上加工出具有三维曲面浮雕结构的负板；2）将PMMA溶质与苯甲醚溶剂按照溶质:溶液=2～5:10比例配制PMMA溶液，将配好的PMMA溶液旋涂到硅基底上，烘干，等待模压；3）通过热压印技术，将金属模具上的结构转移到步骤2中所得的硅基材料上；4）反应气体O₂与SF₆的体积比为2.5～3.5:10，通过等离子体刻蚀技术对步骤3中所得材料进行刻蚀，将聚合物上的浮雕结构转移到硅上得到硅基模具，完成硅基模具的的制造。